面分析是用于揭示材料表面數(shù)納米至數(shù)微米深度范圍內(nèi)的元素組成、化學(xué)狀態(tài)及微觀結(jié)構(gòu)的分析技術(shù)。該技術(shù)能夠從原子尺度認(rèn)識(shí)和說(shuō)明材料表面的物理化學(xué)變化及其與表面有關(guān)的宏觀性質(zhì)的聯(lián)系。 腐蝕、磨損、黏附及其他影響材料性能和可靠性的反應(yīng)主要發(fā)生于材料表層，因此表面分析在材料評(píng)估、質(zhì)量控制和失效分析中具有關(guān)鍵作用。 表面分析技術(shù)有數(shù)十種，而且新的分析方法仍在不斷出現(xiàn)，在實(shí)際分析過(guò)程中，需綜合考慮樣品的具體位置、尺寸、材質(zhì)狀態(tài)以及分析目的，選取最適宜的分析方法。

 表面分析儀器的類型和特征                                                                        

 表面分析儀器是一個(gè)龐大的家族，其核心目標(biāo)是獲取材料最外層（通常是幾個(gè)原子層到幾納米深度）的化學(xué)成分、元素分布、化學(xué)態(tài)、電子結(jié)構(gòu)和形貌信息。它們的工作原理各不相同，但都基于一個(gè)共同的前提：用某種激發(fā)源（探針）激發(fā)樣品表面，然后分析從表面發(fā)射出來(lái)的“信號(hào)"。

 我們可以用一個(gè)統(tǒng)一的框架來(lái)理解它們，并根據(jù)“探針"和“信號(hào)"的不同進(jìn)行分類。

 下表列舉了幾種典型的表面分析方法，從激發(fā)源、檢測(cè)信號(hào)、定量能力、化學(xué)態(tài)分析可能性、靈敏度、絕緣樣品處理方式及縱深分析能力等方面進(jìn)行了對(duì)比。